Ausschließlich für den Einsatz in Reinraumumgebungen vorgesehen, beispielsweise bei der Herstellung von LCD-Panels, Photovoltaikzellen, Halbleiterverpackungen und -tests, Biopharmazeutika und Lebensmittelverpackungen.
Wiederholgenauigkeit: ±0,01 mm. Horizontale Belastung: 50 kg. Vertikale Belastung: 15 kg. Maximale Geschwindigkeit: 1000 mm/s. Verfahrbereich: 50–1050 mm